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矽零件 (Silicon)
耐電漿與高純度的最佳選擇
半導體用矽零件主要用作蝕刻製程的腔體內耗材元件。矽零件具有極高的耐熱性和耐電漿性，能有效保護設備內部免受污染。
- 卓越的耐電漿侵蝕性
- 低汙染特性，提升良率
石英零件 (Quartz)
高溫高潔淨環境的核心材料
由高純度二氧化矽製成，具有優異的耐熱性與耐化學性。主要應用於擴散、CVD、RTP 及濕式清洗製程。
藍寶石零件 (Sapphire)
極致硬度與光學穿透性
單晶氧化鋁(Single Crystal Al₂O₃)製成，擁有僅次於鑽石的硬度與卓越的耐腐蝕性。廣泛應用於電漿蝕刻腔體視窗、頂針(Lift pins)及光學檢測設備中。
- 優異的機械強度與耐磨損
- 良好的電漿抗性與光學特性
陶瓷零件 (Ceramic)
精密絕緣與散熱解決方案
涵蓋高純度氧化鋁、碳化矽(SiC)及氮化鋁(AlN)。在極端溫度與化學環境下仍能保持穩定的物理特性，是靜電吸盤(ESC)與加熱器核心部件的首選材料。
氟化鎂/氟化鈣(MgF2/CaF2)
MgF₂ (氟化鎂, Magnesium fluoride)
📌 特徵
-化學式: MgF₂
-無色, 堅硬結晶
-極佳透明性(紫外線~紅外線範圍)
-優異耐化學性 (抗氧化及耐腐蝕)
-熔點: 約1255°C
👉 特別是作為紫外線（UV）光學材料中使用最廣泛的材質。
👉 因為其堅硬且透明的特性，也被用於高級鏡頭中。
| 分類 | 應用領域 |
|---|---|
| 🔍 光學 |
- 鏡頭、稜鏡、視窗玻璃，用於紫外線（UV）與紅外線（IR）穿透 - 相機, 望遠鏡, 雷射系統元件 |
| 🔬 鍍膜 | - 抗反射（AR）鍍膜製作（光學元件表面處理） |
| 🛰️ 太空/航空 | - 太空設備光學視窗（具抗UV與耐熱特性） |
| 🏭 一般產業 | - 特殊玻璃製造、耐熱鍍膜劑 |
CaF₂ (氟化鈣, Calcium Fluoride)
📌 特徵
-化學式: CaF₂
-自然界中以“螢石 (Fluorite)”礦物形式存在
-無色~淡紫色結晶
-優異耐熱性及化學穩定性
-熔點: 約 1418°C (稍比MgF₂高)
👉 CaF₂ 具有優異的紅外線（IR）穿透性，因此廣泛應用於紅外線攝影機與感測器中。
👉 此外，它也是金屬熔煉工藝（特別是鋼鐵製程）中不可或缺的材料。
| 分類 | 應用領域 |
|---|---|
| 🔥 金屬/礦業 | - 煉鋼製程中的熔渣助劑(Flux)，促進熔渣溶解 |
| 🔍 光學 |
- 高階紅外線(IR) 鏡頭, 稜鏡 - 雷射材料（尤其用於IR紅外線雷射） |
| 🏗️ 產業 | - 氟化物生產原料 (HF製造用) |
| 🧪 化學 | - 氟化反應催化劑 |
| 🚀 航天/軍事 | - 特殊光學系統及監控設備用材料 |
